從理論上講，洛陽高純氣體定值方法主要有兩種：
一是直接測定法，即用定義法進行測定。但迄今為止，人們還沒有找到適合于洛陽高純氣體定值的定義法，而且不少化學分析方法在氣體濃度低于lo-4時測量誤差很大，往往不能滿足定徽要求。
二是間接測定法，即用質量測定性(質量比混合法)、壓力測定法(壓力比混合法)、體積測定法(體積比混合法)等物理測量法來確定標準氣體的濃度值。換言之，對充入容器(高壓鋼瓶)中的標準氣體要按質量測定法進行測定，而對按洛陽高純氣體發生法配制的標準氣體則采用流量測定法進行定值。
不過，這種物理測定法是以組分氣體和稀釋氣體能夠混合均勻、不同氣體混合后不產生化學反應(組成變化)為前提的。有時單靠質量測定法等物理方法不能準確定值，所以，在洛陽高純氣體定值中多同時采用物于是測定方法和化學分析方法。
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